MEMS

La presente invenzione concerne un sistema di analisi chimica portatile in grado di identificare sostanze chimiche in tracce (concentrazioni sub-ppm), anche in presenza di altre sostanze interferenti grazie alla selettività bi-dimensionale ottenuta dalla combinazione tra la tecnica di separazione Gas Cromatografica (GC) e la tecnica di analisi infrarosso fotoacustica (PA), in particolare ma non esclusivamente nella sua implementazione denominata “Quartz Enhanced Photo Acoustic Spectroscopy” (QEPAS).

Compact-GC è un modulo analitico per la pre-concentrazione purge&trap e la separazione (gas)-cromatografica di un campione, realizzato interamente da componentistica MEMS. I due MEMS analitici (pre-concentratore e colonna GC) sono interconnessi da un manifold micro-fluidico, anche esso MEMS. Il manifold micro-fluidico, oltre ad interconnettere i due MEMS analitici, integra le micro-valvole che implementano il ciclo analitico.