Tecniche deposizione da soluzione chimica di precursori metal-organici hanno permesso la ricerca e lo sviluppo di strati sottili ossidi semplici e composti come Pb(Zr,Ti)O3, e Al2O3, fino all’applicazione industriale in dispositivi piroelettrici o capacitori. Le tecniche di deposizione usano spin-on o dip-coating. I vantaggi di queste tecniche sono:
(i) bassi costi di apparecchiatura e di reattivi
(ii) deposizione su larghe aree
(iii) basse temperature di cristallizzazione
Un sistema di deposizione da nebbia porta in fase gassosa differenti precursori da un a singola soluzione generata in una camera in contatto con un trasduttore, a differenza dal MOCVD per il quale vengono evaporati individualmente a temperatura controllata, con rispettivi controlli di flusso gas di trasporto e linee riscaldate. Riterrebbe i pregi elencati del sol gel con ulteriori vantaggi di:
(i) controllo dello spessore
(ii) deposizioni in temperatura controllata
(iii) ricoprimenti di substrati non planari.
Il sistema sviluppato in IMEM usa un trasduttore per generare dalla soluzione dei precursori una nebbia che viene trasportata da un flusso gas nella camera di deposizione. A frequenze alte la nebbia è molto fine e quindi più reattiva rispetto a quella che si otterrebbe con trasduttori a bassa frequenza.
Il sistema prototipale è stato fabbricato ad un costo molto contenuto sia per la semplicità che sia per i materiali utilizzati.
I vantaggi particolari di questa apparecchiatura sono:
(i) un accoppiamento efficiente tra il trasduttore e la soluzione metal-organica.
(ii) protezione del trasduttore da danneggiamento causato dalla soluzione durante la deposizione o pulizia
(iii) applicabile ad altre composizioni o configurazioni di reazione.
Il valore aggiunto è anche il know-how per sintesi di soluzioni adatti ad essere nebullizzati.