Il doping molecolare (MD) è un metodo di drogaggio basato sull’uso di soluzioni liquide. Il precursore del drogante è in forma liquida e il materiale da drogare viene immerso nella soluzione. Durante il processo di immersione, la molecola contenente l’atomo drogante si deposita sulla superficie del materiale formando un monostrato autoassemblato, cioè ordinato e compatto. Attraverso un successivo trattamento termico, si ha la decomposizione della molecola e la diffusione del drogante.
Essendo il precursore in forma liquida, l’MD consente intrinsecamente drogaggi conformi, anche in strutture porose o cave. Inoltre, la densità e le posizioni degli atomi droganti sulla superficie del Si sono fissate dal meccanismo di autoassemblamento, consentendo di eliminare tutte le problematiche legate all’arrivo statistico su scala nanometrica degli atomi droganti sulla superficie del Si, come avviene nei metodi tradizionali di impiantazione ionica. Un ulteriore vantaggio consiste nel fatto che il metodo utilizza materiali e processi a basso costo e con basso impatto ambientale.
Italia, PCT