L’invenzione consiste in un metodo e un apparato per l'erogazione a bassa pressione (uguale o minore di 10-7 Torr) di fluoro monoatomico per la reazione con superfici in un ambiente ultra pulito. Grazie ai bassi valori di pressione coinvolti nel metodo proposto, i rischi connessi all’uso del fluoro sono ridotti al minimo.
Tecnologie
In questa sezione è possibile visionare, anche attraverso ricerche mirate, le tecnologie presenti nel Database di PROMO-TT. Per maggiori informazioni sulle tecnologie e per contattare i Team di Ricerca del CNR che le hanno sviluppate è necessario rivolgersi al Project Manager (vedi i riferimenti in fondo a ogni scheda).
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Il dispositivo proposto è uno schermo semitrasparente che permette di visualizzare contemporaneamente ciò che si trova oltre lo schermo e le immagini proiettate sulla sua superficie. È composto da due lastre di vetro sottile con una maglia di elementi riflettenti disposti come microlenti, incorporati in una resina. La luce del proiettore viene riflessa dagli elementi verso l'occhio dell'utilizzatore, mentre la luce esterna attraversa gli strati trasparenti senza distorsioni.